КОРПОРАЦИЯ intel ДЕМОНСТРИРУЕТ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС СЛЕДУЮЩЕГО ПОКОЛЕНИЯ

САНТА-КЛАРА, шт. Калифорния, 24 ноября 2003 г. – Корпорация изготовила полнофункциональные микросхемы SRAM (статической оперативной памяти) с использованием технологического процесса следующего поколения с проектной нормой 65 нанометров (нм). Корпорация Intel планирует внедрить новый технологический процесс в производство в 2005 году на 300-миллиметровых подложка- х.

Процесс с проектной нормой 65 нанометров (нанометр равен миллиардной доле метра) соединяет в себе более высокопроизводительные и энергоэкономичные транзисторы, разработанную корпорацией Intel технологию напряженного кремния второго поколения, высокоскоростные медные соединения и диэлектрический материал с низкой диэлектрической проницаемостью. Переход на 65-нанометровый технологический процесс позволит корпорации Intel удвоить количество транзисторов, размещаемых на одном кристалле, по сравнению с применяемыми сегодня технологиями. «Это достижение выводит 65-нм технологию корпорации Intel на финишную прямую. Таким образом, мы продолжаем 15-летнюю традицию внедрения раз в два года производственного процесса нового поколения. В действительности прошло всего 20 месяцев с момента, когда мы сообщили о построении полнофункциональных компонентов SRAM на базе 90-нм процесса, который сегодня внедряется в производство, – заявил доктор Сунлинь Чжоу (Sunlin Chou), старший вице-президент и генеральный менеджер подразделения Intel Technology and Manufacturing Group. – Новый 65-нм процесс позволит нам выпускать более совершенную продукцию с меньшими затратами, внедряя новые технологии и продлевая действие закона Мура».

Информация о новом технологическом процессе Усовершенствованные транзисторы. В новом 65-нм технологическом процессе Intel используются новые транзисторы, имеющие длину затвора всего 35 нм. Это будут самые маленькие и самые быстродействующие КМОП-транзисторы, используемые в массовом производстве. Для сравнения: наиболее совершенные транзисторы, применяемые в производстве сегодня, – при изготовлении процессора Intel® Pentium® 4 – имеют длину 50 нм. Быстродействующие транзисторы малых размеров – это основа для быстродействующих процессоров. Технологии напряженного кремния. Корпорация Intel применила в новом технологическом процессе второе поколение своей технологии высокоэффективного напряженного кремния. Применение напряженного кремния позволяет повысить рабочие токи транзисторов и их быстродействие при увеличении себестоимости всего на два процента. Медные соединения и новый диэлектрик с низкой диэлектрической проницаемостью. Новый процесс также предусматривает использование восьми слоев медных соединений и нового диэлектрического материала, позволяющего повысить скорость распространения сигналов в кристалле и снизить энергопотребление процессора. На базе нового 65-нм технологического процесса корпорация Intel изготовила полнофункциональные компоненты SRAM объемом 4 мегабит с чрезвычайно малым размером ячейки памяти – 0,57 мкмІ. Уменьшение размера ячейки SRAM позволяет увеличить объем кэш-памяти и тем самым производительность процессоров. Новые ячейки SRAM имеют хорошие рабочие характеристики и большой запас по соотношению «сигнал/шум», указывающий на очень хорошие параметры переключения. Каждая ячейка памяти SRAM содержит шесть транзисторов, 10 миллионов которых может поместиться на одном квадратном миллиметре, что по площади примерно сопоставимо с кончиком стержня шариковой ручки. «Разработка 65-нм технологического процесса корпорации Intel успешно движется вперед, и мы уже производим такие подложки и компоненты на нашем опытном производстве, – заявил Марк Бор (Mark Bohr), старший почетный сотрудник и директор по технологической архитектуре и интеграции корпорации Intel. – К 2005 году мы будем первой компанией, внедрившей 65-нм процесс в массовое производство». Полупроводниковые компоненты на базе 65-нм технологического процесса были изготовлены на опытном заводе D1D корпорации Intel по обработке 300-миллиметровых подложек в Хиллсборо (шт. Орегон), где этот технологический процесс и был разработан. D1D – самый современный завод корпорации, обладающий самой большой среди производств Intel единой «чистой комнатой» площадью более 16 тысяч квадратных метров – примерно три с половиной футбольных поля.

Собственное производство масок продлевает срок службы литографического оборудования Собственная группа корпорации Intel по изготовлению литографических масок сыграла ключевую роль в создании усовершенствованных масок, позволивших применить сегодняшнее литографическое оборудование, работающее на длине волны 193 нм, для 65-нм технологического процесса. Корпорация планирует сохранить в новом технологическом процессе существующее литографическое оборудование с рабочей длиной волны 193 нм и 248 нм, применяемое сегодня в 90-нм процессе, а также установить ряд усовершенствованных установок с рабочей длиной волны 193 нм. Это снизит затраты на внедрение и создаст запас ресурсов для быстрого наращивания производства. Начиная с 2005 года технологический процесс с проектной нормой 65 нм планируется внедрить в массовое производство на заводе D1D и затем перенести на другие заводы, работающие с 300-миллиметровыми подложками. Более подробную информацию можно найти на Web-сайте Intel Silicon Showcase по адресу http://www.intel.com/research/silicon.

Корпорация Intel является крупнейшим в мире производителем микропроцессоров, а также одним из ведущих производителей оборудования для персональных компьютеров, компьютерных сетей и средств связи. Дополнительную информацию о корпорации Intel можно найти на Web-сайте www.intel.com/pressroom, а также на русскоязычном Web-сервере компании Intel (http://www.intel.ru).

Intel является зарегистрированным товарным знаком корпорации Intel и ее подразделений в США и других странах.

* Другие наименования и товарные знаки являются собственностью своих законных владельцев.

Опубликовано: 25 ноября 2003 г.

Ключевые слова: нет

Извините, комментариев пока нет